InnoChem
材料結構示意
拖曳旋轉 · 結構示意，非產品尺寸
PROCESS OVERVIEW
從表面保護，到清洗移除。
PROCESS EXPLORER製程示意
01 / 04選擇下方步驟，觀察保護膜的作用。
在晶圓表面形成保護膜
依表面與設備條件評估塗布與乾燥參數。保護膜的附著與均勻性，是後續雷射加工前的重要觀察項目。
配合雷射開槽與切割
切割路徑中的保護膜需配合雷射加工分解；非切割區域則保留保護作用，降低凝結物與噴濺污染表面的風險。
移除保護膜與加工殘留
GMAX-U06 為水溶性材料。實際清洗方式與時間應依膜厚、基材、雷射條件及清潔度標準驗證。
確認清潔度與表面狀態
以顯微觀察或適用的檢測方法確認殘留、表面熏黑與切割道狀態，再評估後續製程相容性。
GMAX-U06
材料特性
| 項目 | GMAX-U06 |
|---|---|
| 外觀 | 無色透明液體 |
| 水溶性 | 可溶 |
| 黏度（25°C） | 65 ± 10 cP |
| 比重 | 1.03–1.05 |
| pH | 3.5–4.5 |
| 沸點 | <120°C |
資料來源：InnoChem 2022 年 11 月簡介。此為歷史產品資料；採購及製程導入前，請向我們索取最新版 TDS / SDS，並確認供應規格。
TEST OBSERVATIONS
清洗前後的表面觀察
原始圖像擷取自 2022 年公司簡介；為該次測試之觀察結果。
將清洗效果放回測試條件中看。
簡介中的驗證使用 6 吋、600 μm 厚晶圓，塗布 GMAX-U06 後，以 20 W NANO UV 進行劃切，再以超純水沖洗約一分鐘。資料記錄清洗後表面熏黑改善。
此結果不代表所有晶圓與機台條件。量產良率與清洗標準需由實際製程驗證。
討論驗證需求TECHNICAL QUESTIONS
導入前，值得確認的事。
GMAX 適用於哪些雷射條件？
原始資料包含 UV 雷射驗證，並提及可依機台光波調整材料吸光特性。請提供波長、脈衝條件、功率、基材與製程目標，以評估適用性。
可以直接保證良率提升嗎？
良率同時受到晶圓、雷射參數、膜厚、清洗條件與後續製程影響。應先以既有材料為基準建立驗證計畫，再評估實際效果。
如何取得樣品或技術資料？
透過技術諮詢提供公司、應用與驗證需求，我們可進一步確認產品資料、樣品安排與供應條件。
從你的製程條件開始。
告訴我們材料需求、操作條件與驗證目標。